自復(fù)疊式制冷機(jī)組是一種采用多元混合工質(zhì)、通過(guò)單壓縮機(jī)實(shí)現(xiàn)寬溫區(qū)制冷的特殊系統(tǒng)，在半導(dǎo)體、低溫實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域有重要應(yīng)用。
自復(fù)疊式制冷機(jī)組工作原理
混合工質(zhì)分凝：采用沸點(diǎn)差異顯著的混合制冷劑（如R23/R134a/R404A），通過(guò)冷凝蒸發(fā)器逐級(jí)分離高低沸點(diǎn)組分。
單壓縮多級(jí)制冷：
壓縮機(jī)排氣→冷凝器→一級(jí)氣液分離器→高沸點(diǎn)組分（如R134a）節(jié)流制冷（中溫段）。
低沸點(diǎn)組分（如R23）繼續(xù)進(jìn)入二級(jí)回路→深冷蒸發(fā)器→*終復(fù)疊回壓縮機(jī)。
自復(fù)疊式制冷機(jī)組在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用優(yōu)勢(shì)
寬溫區(qū)覆蓋：?jiǎn)蜗到y(tǒng)可實(shí)現(xiàn)-80℃~+150℃范圍（傳統(tǒng)復(fù)疊需多壓縮機(jī)）。
光刻特殊場(chǎng)景：
EUV光刻機(jī)的掩模版冷卻（需-50℃以下防熱變形）。
低溫光刻膠處理（如某些電子束光刻膠需-30℃存儲(chǔ)）。
節(jié)能性：比傳統(tǒng)復(fù)疊系統(tǒng)減少30%以上能耗（無(wú)中間溫度壓縮機(jī)）。
自復(fù)疊式制冷機(jī)組選型，價(jià)格，方案等與18936116791賴先生溝通。